路透：中國開始量產自主研發浸潤式DUV微影機

（中央社新加坡28日綜合外電報導）消息人士表示，中國已開始量產自主研發的浸潤式深紫外線（DUV）微影機，這項先進晶片製造關鍵設備，象徵北京降低對外國技術依賴的努力邁出重要一步。