台大設置半導體製程研究場域　無塵室開放各校師生

（中央社記者陳至中台北1日電）台灣大學接受國科會補助新台幣3億元，設置新的半導體製程無塵室，涵蓋解析度可達8奈米的電子束微影、奈米材料與半導體元件量測設備等，開放各校師生共享研發平台。