國研院偕汎銓科技攻克新技術助國內廠商打入國際半導體供應鏈

by 自由時報 - 2026-10-27 13:33

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高階半導體用鍍膜強化晶圓結構並做後續檢測時，常有電路遭破壞等情況，國研院國家儀器科技研究中心（國儀中心）偕國內半導體材料分析大廠汎銓科技攻克「高數值孔徑極紫外光」的光阻材料微影...…

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