中國工博會 上海新創廠商展出研製EUV樣機

（中央社記者馮昭上海15日電）正在中國上海舉行的中國國際工業博覽會上，一家上海新創廠商低調展出7奈米以下最先進製程晶片所需極紫外光（EUV）微影設備樣機。