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清大團隊用「光絲」產生埃秒脈衝 可望助攻半導體EUV檢測

by 自由時報 - 2026-05-13 11:59 5239 Views

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清華大學電機工程學系副教授陳明彰研究團隊,近期在超快光學與極紫外光(EUV)領域取得重要突破,首創利用「光絲化」(filamentation)機制,直接產生高品質孤立埃秒脈衝(...…